ASML 简史

　　一家荷兰公司如何成为半导体行业举足轻重的核心企业？

　　ASML 诞生于 1984 年，最初是飞利浦公司和 Advanced Semiconductor Materials Int. 的合资企业，办公室位于飞利浦办公楼后简陋的棚屋内，第一款产品是 PA 2000 光刻机，但落后于市场领头羊日本公司尼康和佳能因此缺乏竞争力。

　　1990 年 ASML 脱离飞利浦成为独立公司。它的第一款热销产品是 1991 年上市的 PAS 5500 光刻机，1995 年 IPO，之后收购了多家美国光刻技术公司，到 1990 年末它的市场份额已经接近尼康和佳能。2006 年 ASML 发布了它的第一款市场领先的产品、使用浸没式光刻技术的 TWINSCAN 系统。

　　2000 年代中期它投入了大量资金研发极紫外光（EUV）技术，从 2008 年到 2014 年它在 EUV 上投入了超过 50 亿美元。EUV 背后的技术是在 1980 年代确立的，由美国能源部以及 IBM、英特尔和 AMD 等公司联合研发。

　　ASML 在 1999 年获得了 EUV 技术授权，佳能因财务问题没有选择这项技术，而尼康选择研发比 EUV 落后的技术。EUV 的巨大潜力让英特尔、三星和台积电这几家竞争对手在 2012 年联合收购了 ASML 23% 的股份，其中英特尔出资最多以 25 亿欧元收购 15% 的股份。到今天相关公司已经出售了大部分股份（英特尔持有不到 3%）。ASML 在 2016 年推出了第一款面向生产环境的 EUV 机器。

　　ASML 几乎垄断了 EUV 市场，它一年生产的 EUV 机器只有 50 台左右，单价高达 1.5 亿美元。ASML 在 2020 年的销售额超过 160 亿美元。

　　为什么 EUV 机器如此昂贵？某种程度上它类似波音的飞机，整合了来自 4750 家供应商的零部件，协调这些供应商是非常困难的，而且每一台机器都是定制的，部分核心元件如蔡司镜头需要 40 周时间生产。每台机器重 180 吨，拆开之后能塞满 40 个集装箱，运输到亚洲需要 20 辆卡车和 3 架波音 747。