ASML 简史

一家荷兰公司如何成为半导体行业举足轻重的核心企业?ASML诞生于1984年,最初是飞利浦公司和AdvancedSemiconductorMaterialsInt.的合资企业,办公室位于飞利浦办公楼后简陋的棚屋内,第一款产品是PA2000光刻机,但落后于市场领头羊日本公司尼康和

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  一家荷兰公司如何成为半导体行业举足轻重的核心企业?

  ASML 诞生于 1984 年,最初是飞利浦公司和 Advanced Semiconductor Materials Int. 的合资企业,办公室位于飞利浦办公楼后简陋的棚屋内,第一款产品是 PA 2000 光刻机,但落后于市场领头羊日本公司尼康和佳能因此缺乏竞争力。

  1990 年 ASML 脱离飞利浦成为独立公司。它的第一款热销产品是 1991 年上市的 PAS 5500 光刻机,1995 年 IPO,之后收购了多家美国光刻技术公司,到 1990 年末它的市场份额已经接近尼康和佳能。2006 年 ASML 发布了它的第一款市场领先的产品、使用浸没式光刻技术的 TWINSCAN 系统。

  2000 年代中期它投入了大量资金研发极紫外光(EUV)技术,从 2008 年到 2014 年它在 EUV 上投入了超过 50 亿美元。EUV 背后的技术是在 1980 年代确立的,由美国能源部以及 IBM、英特尔和 AMD 等公司联合研发。

  ASML 在 1999 年获得了 EUV 技术授权,佳能因财务问题没有选择这项技术,而尼康选择研发比 EUV 落后的技术。EUV 的巨大潜力让英特尔、三星和台积电这几家竞争对手在 2012 年联合收购了 ASML 23% 的股份,其中英特尔出资最多以 25 亿欧元收购 15% 的股份。到今天相关公司已经出售了大部分股份(英特尔持有不到 3%)。ASML 在 2016 年推出了第一款面向生产环境的 EUV 机器。

  ASML 几乎垄断了 EUV 市场,它一年生产的 EUV 机器只有 50 台左右,单价高达 1.5 亿美元。ASML 在 2020 年的销售额超过 160 亿美元。

  为什么 EUV 机器如此昂贵?某种程度上它类似波音的飞机,整合了来自 4750 家供应商的零部件,协调这些供应商是非常困难的,而且每一台机器都是定制的,部分核心元件如蔡司镜头需要 40 周时间生产。每台机器重 180 吨,拆开之后能塞满 40 个集装箱,运输到亚洲需要 20 辆卡车和 3 架波音 747。

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