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将芯片节点缩小至1nm以下!彭博社对话IMEC CEO

近日,比利时微电子研究中心(IMEC)发布了1nm工艺下金属互连的新方法,解决了1nm节点互连发热问题。事实上,IMEC已经成为了全球半导体生态中的重要一环,在先进制程工艺的开发中有着举足轻重的地位,和美国英特尔、IBM并称微电子领域“3I”。而随着全球开始关注半导体问题,IMEC由

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  近日,比利时微电子研究中心(IMEC)发布了 1nm 工艺下金属互连的新方法,解决了 1nm 节点互连发热问题。事实上,IMEC 已经成为了全球半导体生态中的重要一环,在先进制程工艺的开发中有着举足轻重的地位,和美国英特尔、IBM 并称微电子领域“3I”。

  而随着全球开始关注半导体问题,IMEC 由于其重要性也受到了越来越多的关注。在上个月白宫对美国供应链的评估中,IMEC 和荷兰光刻机厂商 ASML 一并出现在了报告中。用一位业内人士的话说,IMEC 是一个很少有人知道,但是每个人都应该知道的地方。

  彭博社也对 IMEC 的首席执行官 Luc Van den hove 进行了采访,以下是芯东西在不改变原意前提下进行的编译。


▲IMEC 首席执行官 Luc Van den hove(来源:彭博社)

  一、中试线工艺超 5nm 2-3 代,价值超 25 亿欧元

  1984 年,几位比利时的大学教授向比利时弗拉芒大区政府提议,建设一个微电子研究中心,解决高校科研和产业脱节的问题。

  弗拉芒大区政府很快就同意了这一建议,投入了价值 6200 万欧元的比利时法郎,建立了 IMEC。一开始,IMEC 的资金大多由政府提供。

  很快,IMEC 设计出一种新的合作模式,也就是 IMEC 工业联盟项目(IIAP)。在这样的合作模式下,厂商需要向 IMEC 提供入会费和年费。入会后,厂商就可以与 IMEC 合作开发技术。项目中,IMEC 掌握研发决策权与各方信息,但是各家厂商也可以向 IMEC 提出自己的质疑,纠正其决策错误。

  而在 IMEC 和undefined、台积电、undefined电子、应用材料等 IC 供应链巨头达成了合作关系后,政府拨款占比逐步降低。如今,IMEC 75% 的资金来自于这些 IC 供应链厂商,有超过 4500 名员工,是全球最重要的微电子研究机构之一。

  因为有了众多厂商的参与与资金支持,IMEC 拥有 1 条 200mm(8 英寸)和 1 条 300mm(12 英寸)晶圆中试线。其中 300mm 中试线配备有 EUV 光刻机等最先进的设备,价值 25 亿欧元(约合 30 亿美元,210 亿人民币),比台积电、三星电子量产的 5nm 工艺领先 2 到 3 代,让 IMEC 的研究人员可以研究 2nm 及以下的节点工艺。

  今年 5 月份,英特尔首席执行官 Pat Gelsinger 评价 IMEC 和 ASML 是欧洲的 2 颗宝石。

  二、专注芯片节点演进,曾联手华为、中芯国际、高通研发先进制程

  近年来,随着芯片制程工艺的不断发展,摩尔定律正在逐渐失效。很多国家都在研发氮化镓(GaN)、碳化硅(SiC)、氧化锌(ZnO)和金刚石等宽禁带半导体。

  IMEC 的首席执行官 Luc Van den hove 则认为,这类半导体的市场有限:“我们相信硅是完undefined平台。”而 IMEC 会继续将芯片节点缩小到 1nm 以下。

  对于芯片技术的前景,Luc Van den hove 则认为这将为很多行业带来发展。此外,IMEC 在人工智能、物联网、生命科学等领域也有着较强的研发实力。Luc Van den hove 谈到生命科学中的一些应用将会在 5 年内带来“巨大的繁荣”,通过结合这些前沿技术,人们可以做到一些非凡的事情。

  IMEC 此前也与中国公司、机构进行过一系列合作。2015 年,IMEC 与中芯国际、华为、高通四家公司宣布共同投资中芯国际集成电路新技术研发(上海)有限公司,开发下一代 CMOS 逻辑工艺;今年 2 月,IMEC 还成为了无锡半导体行业协会的会员单位。

  ▲IMEC 洁净室(来源:彭博社)

  三、受美国重点关注,IMEC CEO 称需保持冷静

  IMEC 强大的研发能力也吸引了美国的注意。

  新美国安全中心(Center for a New American security)技术和国家安全项目主任 Martijn Rasser 称,在拜登政府与欧盟所建立的科技联盟中,IMEC 可能会是其中的重点。

  美国中情局(CIA)的前技术和创新工作人员也提到,由于 IMEC,其所在的比利时鲁汶成为了政治人士和行业所关注的中心。

▲从 IMEC 大楼看鲁汶市区(来源:彭博社)

  Luc Van den hove 就此事透露,IMEC 正在就此事进行讨论。因为 IMEC 渴望“以积极的方式推动行业发展,所以无论 IMEC 能够做什么来支持(行业发展),都会接受这些讨论”。

  不过这也引发了一些技术上的盗窃行为。Luc Van den hove 称,IMEC 遇到过一些员工不按照其行为准则和价值观行事的案件。他补充道,这样的现象并不局限于任何一个国家。

  Luc Van den hove 提到,IMEC 当前研究能力并没有因为政治压力而受到损害,“但是我们也必须面对现实,接受地缘政治紧张局势正在加剧的事实。”

  虽然如此,Luc Van den hove 说,各类前沿技术仍将带来巨大的机会,保持冷静非常重要。

  ▲Luc Van den hove 手持晶圆(来源:彭博社)

  结语:IMEC 成功关键在于合作、中立

  IMEC 作为半导体制程的重要参与者,其成功的原因之一就是开放、中立的国际合作模式。在这样的模式下,IMEC 推动整个半导体行业的发展,也汇聚了包括中国在内的全球各国技术人才。

  而在当前较为紧张的地缘政治下,美国等对其所施加的政治压力,如果影响到了其中立的立场,或许将会动摇 IMEC 立身之本。

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